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数字质量流量控制器GFC-200
请注意:照片可能并不是实际产品,具体请参阅标题和产品规格及所有细节描述。
规格描述
物品 |
数字质量流量控制器 |
模型 |
GFC-200 |
目标气体 |
多种气体* |
N2(空气、H2、He、Ar、O2、CO2) |
配件 |
1/4F900(标准) |
1/4UJR |
RC1/4 |
(选一个) |
流量范围 |
多量程* |
10/30/50/100/300/500SCCM/1/35SLM |
(选一个) |
* |
使用专用软件,可以在指定满量程 (FS) 的 30% 和 100% 之间更改气体类型和满量程范围。 |
规格 |
传感器方式:热绕式传感器 |
控制范围:2~100%(满量程) |
响应性:1秒内完成全流量控制范围 |
准确性: |
±1.0%RD(>35%FS) |
±0.35%FS(≤35%FS) |
重复性:±0.25%FS |
*大入口压力:500kPa |
耐压:980kPa |
工作温度:5~50℃ |
精度保证温度:15~35℃ |
允许储存温度:-10~60℃ |
允许工作湿度:10~90%RH(无凝露) |
气体接触部件材质:SUS316、SU316L、磁性不锈钢、Ni、PTFE、PCTFE、氟橡胶 |
流量设定信号:0~5VDC(输入阻抗1MΩ以上) |
流量输出信号:0~5VDC(*小负载电阻10kΩ以上) |
数字信号:使 |
产品介绍
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